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發(fā)布日期:2022-10-11 點(diǎn)擊率:333
電容式壓力傳感器,是一種可以利用電容敏感的原件把被測(cè)量的壓力轉(zhuǎn)換成為跟它有一定的關(guān)系的電信號(hào)輸出的精密測(cè)量?jī)x器。它通常是使用鍍金屬薄膜或者是圓形金屬薄膜來做電容器的其中一個(gè)電極。在薄膜感受到壓力的時(shí)候,它會(huì)變形的,此時(shí)薄膜跟固定的電極間所產(chǎn)生的電容量就會(huì)發(fā)生改變。測(cè)量電路就可以輸出跟電壓形成一定的關(guān)系的電信號(hào)。它的應(yīng)用非常廣泛,之所以應(yīng)用這么廣泛,是因?yàn)樗膬?yōu)點(diǎn)有很多:它的分辨率很高;它可以進(jìn)行動(dòng)態(tài)的檢測(cè);它的結(jié)構(gòu)很簡(jiǎn)單,并不復(fù)雜;它可以在很惡劣的工作環(huán)境下正常工作,解決人不可以測(cè)量的很多問題;它可以是非接觸測(cè)量的,很方便。
電容式壓力傳感器是極距變化型的電容式傳感器,有差動(dòng)電容式和單電容式之分。下面詳細(xì)介紹一下這兩種類型的傳感器。
差動(dòng)電容式壓力傳感器
其受壓膜片電極是處于兩個(gè)固定的電極之間的,可以形成兩個(gè)電容器。當(dāng)受到壓力的作用的時(shí)候,其中一個(gè)電容器的容量就會(huì)變大,而另一個(gè)電容器的容量就會(huì)相應(yīng)地變小,而測(cè)量的結(jié)果是由差動(dòng)式的電路輸出的。此傳感器的固定的電極是由在凹而曲的玻璃的表層上面鍍上金屬層而制造出來的。當(dāng)過載的時(shí)候,膜片就會(huì)受到凹面的保護(hù),所以,它是不會(huì)破裂的。相對(duì)于單電容式壓力傳感器來說,它的線性度較好,靈敏度也較高,但是在加工方面就比較困難了,還有它不可以完成對(duì)被測(cè)的液體或者是氣體的隔離,所以,它不適合使用在有雜質(zhì)的或者是有腐蝕性的流體之中。
單電容式壓力傳感器
它是由固定的電極和圓形的薄膜組成的。當(dāng)受到壓力作用的時(shí)候,薄膜就會(huì)發(fā)生變形,這樣就會(huì)改變電容器的容量。它的靈敏度大概是跟薄膜與固定的電極之間的距離和薄膜的張力成反比關(guān)系的;而跟壓力和薄膜的面積成正比關(guān)系的。有另外的一種型式,它是跟固定電極取凹形球面狀的,而膜片是周圍邊緣的固定的張緊的平面,膜片能夠使用塑料接著鍍上金屬層的這個(gè)方法制造而成的。這一種型式比較適合于測(cè)量低壓這個(gè)工作條件的,它有比較高的過載能力。當(dāng)然,要測(cè)量高壓工作條件的話,可使用帶有活塞動(dòng)極膜片制造而成的單電容式壓力傳感器。這一種型式的傳感器能夠把膜片的直接的受壓面積變小,這樣就方便使用比較薄的膜片以致來提高它的靈敏度。它還有一個(gè)操作是用來提高抗干擾能力的,就是跟各種的保護(hù)和補(bǔ)償部還有放大電路的整體整合在一起。這一種傳感器就適用于對(duì)飛行物體進(jìn)行遙測(cè)和在動(dòng)態(tài)高壓的工作條件下測(cè)量。單電容式壓力傳感器還可以分為聽診器式和傳聲器式。
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